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综合型分析探针台
型号 SH-6 SH-8 SH-12
外形 820mm长*720mm宽*890mm高 960mm长*850mm宽*900mm高 1300mm长*920mm宽*920mm高
重量 170公斤 约230公斤 约300公斤
电力需求 220VC,50~60Hz
样品台 尺寸 6英寸,可360度旋转 8英寸,可360度旋转 12英寸,可360度旋转
行程 X-Y行程6*6英寸 X-Y行程8*8英寸 X-Y行程12英寸*12英寸
移动精度 1um
样品固定方式 真空吸附
背电极测试功能 有,样品台电学独立悬空
针座平台 规格 U型平台,多可放置6个针座 U型平台,多可放置10个针座 U型平台,多可放置12个针座
行程&调节方式 平台可以快速升降,行程 6mm,并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um
光学特性  显微镜行程 X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm
显微镜移动精度 1um
切换镜头方式 显微镜快速倾仰30度    
放大倍数 20~4000X
镜头规格 目镜:10X;物镜:5X,10X,20X,50X,100X(选配)
CCD像素 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
点针规格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
机械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
漏电精度 10pA/100fA     (配置屏蔽箱时)
接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
应用方向 晶圆测试,光电器件测试,PCB/封装器件测试,射频测试,高压/大电流测试等
可选附件 卡盘快速拉出装置 加热台 光强/波长测试选件
显微镜倾仰装置(倾仰30度) 高低温样品台 射频测试附件
显微镜气动升降装置 屏蔽箱 有源探头
激光微加工 转接头 低电流/电容测试
探针卡夹具 防震台 兼容积分球测试选件
显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件 镀金卡盘 光纤夹具耦合测试选件
液晶热点侦测套装 同轴叁轴卡盘 封装器件夹具
高压/大电流测试套装 样品台快速升降,微调升降装置选件 PCB/封装夹具测试选件
带真空底座的活动Chuck 样品台旋转微调选件 特殊定制
 
特点
稳定的结构 同轴丝杠传动结构,线性移动
针座平台可快速升降和微调,适合针卡测试 大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计
兼容高倍率金相显微镜,可微调移动 芯片内部线路/电极/PAD测试
高等院校/研究所/公司实验室使用 LD/LED/PD的光强/波长测试
可用于12英寸以内样品测试 材料/器件的IV/CV特性测试
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