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蛮吉光电 多角度光谱系统 OMNIScan-3000T 使用显微高光谱仪检测产品单像素发光分布,同时样品台可变温,可改变测试角度,助益谱型研究、热衰研
究和芯片结构对光场的影响研究。
主要功能:1、光谱收集:多角度光谱收集、3D光谱成像、不同光谱分析发光分布;划线或全图选取指定位置的数据, 特定位置,显示光谱图等。
2、显微镜高倍观察:3D超景深成像、3D轮廓测量、线粗糙度及面粗糙测量、大视野拼图、跨视野尺寸测量、2D测量、2D真彩图采集等。
3、电性测试。
4、样品温度控制。
多角度光谱搜集
自内向外的四处位置依次是1、2、3、4
3D光谱成像
WLP与FWHM


不同光谱分析发光分布

3D超景深成像与轮廓测量
可选择同时集成可见光观察,实现实现微米级的测量精度,满足高精度测量的需求,自动测量和输出结果,极大提高了检测效率。可用于测量点间高度差、高度极值;测量剖面的距离、角度、圆弧半径测;测量凸起、凹陷的体积、表面积;量线粗糙度、面粗糙度等。

大视野拼图
拼接多个图像可以获得一个具有高倍率的广域图像。因为图像是根据坐标数据拼接而成,
粗糙度测量
能够提供非接触式线粗糙度和面粗糙度测量。根据线粗糙度标准:ISO 4287:1997,面粗糙度标准ISO 25178-2:2012。该软件可应用于需要分析表面纹理的各种应用中。表面粗糙度测量的实施基于从地形收集的数据。因此系统能够产生高可靠度的图像。

跨视野尺寸测量
提供了大范围尺寸测量解决方案,摒弃了常规方法中繁琐的步骤。用户只需跨视野轻松指定两点,便能实现对这两点间距离的快速和精准测量。
2D测量
提供多样化的测量功能,如点对点、点到线、平行线、角度和面积等,支持将数据导出至Excel。用户可自定义设置(字体大小、线条颜色、单位显示)以优化测量体验。

多种图像显示
单次成像后,可以一键切换多种成像模式。
电性测试
直流探针座:探针座作为探针台的核心部件,主要用途是固定探针和线缆,为半导体芯片的电学参数测试提供一个稳定的扎针条件,在半导体行业以及光电行业有着广泛的运用。可以实现I/0点测量,DC测试,晶圆测试,电阻电压测试,太阳能电池测试,光电流测,半导体器件分析测试等。
丝杆型直流探针座
型号:DR-200m或者DL-200m(R代表右边,L代表左边)
•主体材质采用进口航空铝,表面喷砂氧化,具备优质的机械性能
•采用进口交叉滚珠导轨,高刚性结构,弹簧消隙
•采用进口高精度丝杆驱动,127 TPI
•X/Y/Z轴行程:12.5mm,精度:0.5μm
•底部超强可调磁性底座,磁性吸附可达10Kg以上,保证扎针的稳定性
•带接地端子,可有效防止静电对测试的影响
•带线夹固定块,便于固定三同轴线缆,防止抖动
•可选配升级真空吸附
电学参数


样品温度控制
LRT微型光学测试冷热台。结构紧凑,适用于各种光学测试;-190℃到600℃(配液氮制冷模块);气密腔室设计,可通保护气氛;上位机软件控制;支持改动或定制。
光路组件
旋转组件: 最大±90°旋转,重复定位精度0.01°(不同物镜旋转角度不同)
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18796808197
jikai@smagics.cn
上海市嘉定区徐行镇徐烨路688号2号楼4层